品 牌：Coxem

     型號：SPT-20

     該產品自動真空控制，條件設置簡單，可以實現快速抽真空（<2min），對樣品進行鍍膜處理，完成鍍膜后可以自動卸載真空。同時，樣品高度的調節也十分方便。

     技術指標：

     1、電源：AC 220V，500W

     2、重量：10kg

     3、尺寸：420（W）x220（D）x230（H）mm

     4、機械泵：50L/min（60Hz），AC 220V，150W，14.5kg

     5、靶的尺寸：直徑50.8mm

     6、真空度：約0.1torr

     7、zui 大低電壓：~3kv

     離子流控制范圍：1~9mA

     特點:

     1全自動數字離子濺射鍍膜機

     2 可一鍵進行離濺射鍍膜，完成鍍膜后可自動卸載真空

     3具有涂層電流反饋功能的穩定涂層

     4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各種金屬靶

     5采用低噪音旋轉泵